半导体晶圆中测设备-探针台

晶圆测试探针台和测试机是晶圆测试环节的核心设备。探针台的主要作用是将晶圆和测试机相连接，具体过程为：探针台将晶圆逐片自动传送至测试位置，芯片的pad点通过探针、**连接线与测试机的功能模块进行连接，测试机对芯片施加输入信号、..